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调制脉冲技术,普通环境使用的离子棒   5630

Simco-Ion Aerobar 5630 MP 离子棒能提供快速静电消散,低残余电压摆幅,和精准的离子平衡,是设计用于有严格要求的超高洁净半导体或有同类的制程环境。它采用 MP 技术 - 把高频正旋周波和调制脉冲结合 - 产生高输出量的离子和把它们推送至目标表面,这突破的技术使 5630能维持长时间的高效工作而不需清洁,相较传统脉冲 AC 技术,有更长的清洁周期。在棒长 450mm 和 600 mm 时,静电针的间距是 50 mm,棒长 850 mm 至 2350 mm 的静电针的间距是75 mm。5630 MP 离子棒标准配置是 QTC27 TurboJet 风嘴和钛金属静电针,提供高效而长清洁周期。

Aerobar 5630 MP 离子棒能容易设置和微调参数 - 输出电压,脉冲频率,正负平衡,以符合不同环境和产品对静电的敏感要求。可垂直和横放安装,容易满足不同的应用环境,如机内插槽,传输带,加载和卸载进出口。






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