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调制脉冲技术,超高洁净环境使用的离子棒   5635 (M)

Simco-Ion Aerobar 5635 MP 离子棒能提供快速静电消散,低残余电压摆幅,和精准的离子平衡,是设计用于有严格要求的超高洁净半导体或有同类的制程环境。它采用 MP 技术 - 把高频正旋周波和调制脉冲结合 - 产生高输出量的离子和把它们推送至目标表面,这突破的技术使 5635MP 离子棒能安装在晶圆的 15 cm 距离内。同时配合超高洁净的静电针和精确的参数调整,使它达到超越 ISO Class 1 洁净水平的

“Extended ISO Class 1”洁净度,适合更微小的先进技术制程。选配的吹气辅助功能,在洁净要求不高的环境,能加快离子的推送,得到更快的消散时间和有更远的工作距离。

Aerobar 5635 MP 离子棒的 MP 技术能容易设置和微调参数 - 输出电压,脉冲频率,正负平衡,以符合不同环境和产品对静电的敏感要求。在棒长短于 60 cm 时,静电针的间距是 5 cm,这样能给出更浓密和更平均的离子覆盖。







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