Simco-Ion 型号 5225 离子棒,以数码电路设计和透过软件操控,满足设备内的防静电需求。它提供高离子输出量,能快速中和晶圆上的静电,符合 E78 标准上最严格的要求。棒身以空气动力学设计和高洁净度材料制造,使得 5225 离子棒在微型洁净室内,完全发挥静电防控能力,而不干扰室内层流气流。
5225 离子棒能结合设备系统,使用预编软件或开放的源代码范例,与设备接口的无缝连接,作出低成本的静电防控方案,减低维护费用,和有更好的警报功能。系统警报和信息能交替显示在设备控制器上,另有设备监控输出作其他警报提醒。
Simco-Ion 强大的软件系统提供全面的离子棒控制,设置包括:工作模式调整 (脉冲模式,稳态模式,待机),信号同步,电离开关时间,输出功率,正负极的警报阈值,每根棒都能独立设置。精准的警报和维修检测,也能降低的故障耗时和诊断工作。
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