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电脑操控,可多根连合的离子棒   5225 Bar

Simco-Ion 的 型号 5225 离子棒,以数码电路设计和透过软件操控,满足设备内的防静电需求。它提供高离子输出量,能快速中和晶圆上的静电,符合 E78 标准上最严格的要求。棒身以空气动力学设计和高洁净度材料制造,使得 5225 离子棒在微型洁净室内,完全发挥静电防控能力,而不干扰室内层流气流。

5225 离子棒能结合设备系统,使用预编软件或开放的源代码范例,与设备接口的无缝连接,作出低成本的静电防控方案,减低维护费用,和有更好的警报功能。系统警报和信息能交替显示在设备控制器上,另有设备监控输出作其他警报提醒。


设备智能的结合
Simco-Ion 专门开发的软件,更易于集成设备系统,它有三个部分,可以完全配合需求:

• 文件完整的 API 接口,能减少集成的时间和费用。
• 在 Visual C/C++下的开发源代码和应用参考,可用来设计和结合系统控制软件,又或作为一个应用程序在单独的电脑运作。
• 离子棒的硬件模拟器,可允许在没有离子棒的情况下,开发监控软件。

Simco-Ion 强大的软件系统提供全面的离子棒控制,设置包括:工作模式调整 (脉冲模式,稳态模式,待机),信号同步,电离开关时间,输出功率,正负极的警报阈值,每根棒都能独立设置。精准的警报和维修检测,也能降低的故障耗时和诊断工作。




• 能与设备控制器完全结
• 使用配置的器材 或者 透过 IonMonitor 软件以操控它的参
• 每根离子棒的参数完全可调
置、运作模式和维护程序
监察
• 在设备的每个安装区域,可以根据个别需求,调操作参数
• 多种长度选择,有三款长度是专为 EFEMs设计的
• 离子输出和效能稳定更能保持一致

• 可以满足不同的应用需求

• 经业内验证的超高洁净的静电针材质,不会对圆造成污染


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