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超高洁净氮气电离盒,适合先进半导体制程使用   4214

Simco-Ion 沿线超高洁净氮气离子产生器型号 4214 是特别为了电离氮气而设计,能把电离氮气的离子送至超高洁净要求的半导体和其他高纯洁净度的制程。一般市面上的氮气离子产生器都要求在氮气流内加进少许气体以产生离子,而这个先进工艺的离子产生器采用一个小而高效的电源,就可电离氮气。

型号 4214 离子产生器利用高频交流电离技术,能提供快速的消散时间,有效地中和静电。微控处理和细小体积,能容易整合需要氮离子产生器的设备。超高洁净的设计和内置微粒采集系统,能确保是最干净的离子产生器,兼容和提供要紧半导体制程的静电中和。只需提供不间断的氮气通过型号 4214,产生的氮离子就能满足 Extended ISO Class 1 洁净度,适合在 22 nm 和以下的所有晶圆技术制程工作。







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