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手持遥控,单根操作的离子棒   5225S

作为一款单独使用的离子棒,5225S 能维持重要的参数设定,保证在每次离子棒启动时,可以持续提供良好的性能。操作参数可用手持式红外线遥控器调整;也有设备监控接口 (FMS) 可结合设备的警报系统。

智能操作作为一个数控离子产生器,5225S 离子棒提供杰出的可靠性和效能。使用手持式红外线遥控器,令设定容易和参数精准,适合对静电防控改进,小量设备,PLC 操控的系统,和洁净室工作区,提供有效稳定和可靠的防控效能。








• 所有的参数设定都存离子棒内,不需外接控制台
• 每次系统启动工作就可持续提供的最佳效能
• 在脉冲直流或稳态直流的工作模式,所有操作参数均可调整
• 可以配合每个现场要求,微调操作
• 多种长度选择,有三款长度是专为 EFEMs设计的
• 可以满足不同的应
• 离子输出的监控
• 离子输出和效能稳定更能保持一致
• 设备监控接口 (FMS) 警报输出
• 警报输出可以确保工作效能
• 单晶硅静电针
• 超高洁净的静电针材质,不会对晶圆造成污染

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