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多功能静电控制监控台   Novx 7000


Novx 7000 制程监测系统是一种多功能微处控制仪器,用于监测工作站和过程环境中与静电有关的关键参数。六个专用信道提供了定制仪器的灵活性,以满足每个位置所需的监测能力和通信。模块选项包括场电压检测/电离器平衡、ESD事件、体电压检测或地面监测以及粒子计数。

系统可通过 Calibrator_Reader软件编程,允许用户设置阈值和警报、定义数据记录参数和自动警报通知。时间戳图形界面提供了将事件与传感器测量相互关联的能力。

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