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高效洁净电离盒,适合半导体制程使用   4210

很多高科技产业都依赖离子产生器来处理由静电所引起的控制问题 - 增加良率,降低停机时间和微控锁定,和降低操作成本。但在微环境和制程设备内,有时会限制离子产生器安装在它们最重要的生产空间内。

在制程设备内的有限工作空间,或靠近一些敏感的部件,安装离子产生器会有限制,型号 4210在线气体离子产生器可电离通过的压缩气体来产生和输出数量相同的正负离子,透过 Teflon™ 管道連接,输进吹入到静电敏感区,处理静电问题。复合管道可定制,以避免设备内的移动部件。



• 容易连接的复合管道
• 精准输送平衡的离子到狭小的空间,最佳用在不能把静电针
• 可用 CDA 或 氮气 (Nitrogen)
的地方
• IsoStat® 专利技术
• 应用广范
• 稳态直流电离
• 无需调较
• 超高洁净的静电针 (型号 4210u 或 4210un)
• 快速消散时间
• 超高洁净结购,严控的输出电流和几何结构
• 提供 ISO 14644-1 Class 3 洁净度

• 免维护可达两年


当气源是超高洁净时,4210u/4210un 能提供比 ISO Class3 更佳的操作洁净度。小心选择的材料和控制的内部几何结
构,确保超高洁净的离子输送。


4210 离子产生器可应用在不同晶圆制程上的静电控制,如曝光机,旋干机,载入和送出机站,晶圆管理系统,和热炉      管等。


4210 有不同版本可选,可用 CDA 或 Nitrogen,可选超高洁净的单晶硅针或高输出的钨针。




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