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空气辅助,有限的空间内使用   QUADBAR 4635

Simco-Ion QuadBar™ 空气辅助离子产生器型号 4635 提供细小而有效的静电控制。独特的四极静电针架构设计,确保在短距离处有效电离,能把产品放置靠近到 3 英寸 (7.6厘米) 左右。4635紧凑细小的设计,容易装放在制程设备内紧密有限的环境内。使用独立的空气辅助系统中,4635的离子吹送不需要或不受环境气流的限制。

Quadbar 型号 4635有两个空氣輔助盒設計。每个利用跨通道围绕静电针,提供最佳的空气分布。标准空氣輔助盒提供静电针气流套,输送空气包围和保护针尖,延长清洁周期。喷射空氣輔助盒透过中心孔,输送高速离子气流,达至极快的消散时间。它的电源输入可使用设备上的 24VDC 电源 或 24 VAC 专属变压器 或 4030 控制台。









内跨通道气流输送,有两个設計
• 标准空氣輔助盒提供静电针气流套,能延长清周期;喷射空氣
• 可转动的空氣輔助盒设计
助盒有极快
• 采用 IsoStat® 技术和四极静电针架构
• 容许在不同的方位输入空气,方便安装
• 紧凑细小的体积
• 适合安放在紧密有限的制程工具环境
• 选用单晶硅静电针
• 符合半导体标准的静电针材质,根据不同的电源输入选择,能达
• 报警输出至制程工具控制台或设备监控系统
至 ISO 14644-1 Class 1 或 Class 2 的洁净度

• 当系统有问题,能确保立即收到通知






标准空氣輔助盒提供静电针气流套,输送空气包围和保护针尖,延长清洁周期。喷射空氣輔助盒透过中心孔,输送高速离   子气流,达至极快的消散时间。




如图示,气管接口选择 #1, #2 or #3


Simco-Ion IsoStat 技术能保证本能平衡,不需要复杂的回馈电路设计,无须调整或校正,而又极少需要维护。它基于
物理定律 – 电荷守恒:在孤立系统内,电荷不会被创造或消灭;把静电针与地隔离,IsoStat 技术保证产生相同的正和

负的离子,保护敏感的产品。

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