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有限的空间内使用   QUADBAR 4630

Simco-Ion Quadbar 离子产生器型号 4630 是业内第一个能安装在制程空间内的电晕放电式离子产生器,有效地控制空间内的静电荷。独特的四极静电针架构设计,确保在短距离处有效电离,能把产品放置靠近到 3 英寸 (7.6 厘米) 左右。4630 紧凑和以 24 VDC 电源输入的设计,符合在制程设备内紧密有限的环境内装放,同时可使用设备的 24 VDC 电源供应。如需要,Quadbar 可输出工作状态,通知制程工具控制台,或设备监控系统。

Simco-Ion Quadbar 的设计是同类产品最洁净的,以 24 VDC 电源输入,符合 ISO 14644-1Class 1 洁净水平。








• 采用 IsoStat® 技术和四极静电针架构
• 可在最靠近的 3 英寸 (7.6 cm) 距离,提供快的消散时间和稳
• 紧凑细小的体积
定的离子平衡
• 24 VAC 或 24 VDC 电源输入
• 适合安放在紧密有限的制程工具环境
• 选用单晶硅静电针
• 可接连 24 VAC 或 24 VDC 电源 或 4030 控制小型变压器
• 报警输出至制程工具控制台或设备监控系统
• 单晶硅静电针提供最洁净的电离材质;使用 24VDC电源输入

能达至 ISO 14644-1 Class 1 标准使用 24 VAC 电源输入时,

足 ISO 14644-1 Class 2标准






Simco-Ion IsoStat 技术能保证本能平衡,不需要复杂的回馈电路设计,无须调整或校正,而又极少需要维护。它基于物    理定律 – 电荷守恒:在孤立系统内,电荷不会被创造或消灭;把静电针与地隔离,IsoStat 技术保证产生相同的正和负的    离子,保护敏感的产品。

Quadbar 离子产生器 装放在晶圆上面和下面,不论环境气流,都能加快两面的消散时间。





Quadbar 的电源输入有不同的选择,可用 4030 控制台能串联 4 台一起,或接地的 24 VAC 电源,或 24 VDC 设备电源
(虽然离子输出会稍少)。多样的选择,令 Quadbar 能在任何地方安装和配合电源要求,使其成为一个通用和有效的离子
发生器。


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